美国颇尔PALL RLS4FPS100 超纯水终端精密滤芯应用案例 【半导体行业・超纯水（UPW）终端精密过滤场景】

 

美国颇尔PALL RLS4FPS100 超纯水终端精密滤芯应用案例

【半导体行业・超纯水（UPW）终端精密过滤场景】

某 12 英寸晶圆厂超纯水系统终端采用 PALL 颇尔 RLS4FPS100 滤芯，保障超纯水水质满足半导体制程要求。该滤芯采用亲水性聚醚砜（PES）膜与聚丙烯支撑结构，0.2μm 除菌级精度，过滤效率 99.999%。

全材质满足 USP Class VI 与 FDA 食品级要求，无溶出、无纤维脱落。低析出、低 TOC 特性，保障超纯水电阻率 18.2MΩ・cm、TOC＜1ppbPALL。原终端滤芯存在微溶出污染，影响晶圆良率。RLS4FPS100 应用后，水质稳定达标，颗粒（≥0.2μm）＜1pcs/mLPALL。有效保护晶圆表面，降低缺陷率，提升芯片良率，成为半导体超纯水终端过滤的理想选择。


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